本設(shè)備用于生產(chǎn)氧化物晶體,系統(tǒng)主要用于YAG等單晶提拉生長。
設(shè)備特點:
德國進(jìn)口高靈敏的稱重傳感器,自主開發(fā)的晶體生長軟件。
技術(shù)指標(biāo):
1、 工作腔φ500×1000 mm
2、 工作溫度~2100℃
3、 極限真空度< 5×10-4Pa
4、 加熱功率~25KW IGBT電源