擴(kuò)散泵主要由泵殼、泵芯、蒸發(fā)鍋、加熱器、冷卻水管組成。擴(kuò)散泵適用于抽除高真空系統(tǒng)中對(duì)工作液體無嚴(yán)重危害的氣體。當(dāng)前級(jí)泵將擴(kuò)散泵內(nèi)抽止10Pa左右的預(yù)真空后，在室溫下工作液由加熱器加熱，產(chǎn)生的油蒸汽沿導(dǎo)管向上運(yùn)動(dòng)，經(jīng)幾級(jí)噴出，將擴(kuò)散在油蒸汽中的氣體帶到前級(jí)端，由前級(jí)泵排除到大氣中，油蒸汽噴射在泵壁，遇到冷卻后，又回到泵底，由此重復(fù)工作達(dá)到高真空目的。

K/TK/ULK型金屬油擴(kuò)散泵適用于電子工業(yè)、電光源工業(yè)、真空鍍膜、真空冶煉、化學(xué)工業(yè)科研等各個(gè)領(lǐng)域。對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣，使之達(dá)到高真空（可達(dá)標(biāo)10-5Pa）目的。

泵殼、泵芯∶不銹鋼SUS304 

冷卻水管∶紫銅軟管

密封圈∶丁腈橡膠

擴(kuò)散油泵∶SD-DPO-3或275#硅油