主要用于石英材料的高溫脫羥。
設(shè)備特點:
鉬帶加熱,前裝料,PLC全自動控制。
技術(shù)指標(biāo):
極限真空度 9.0×10-5Pa
工作真空度 5.0×10 -4Pa
允許使用的溫度范圍:
最高溫度1350 ℃